CVD & PECVD Furnace
Forno de Tubo PECVD Deslizante com Máquina PECVD de Gaseificador de Líquidos
Número do item : KT-PE12
O preço varia com base em especificações e personalizações
- Temperatura máx.
- 1200℃
- Potência de saída de plasma RF
- 5-500W
- Pressão de vácuo nominal
- 10Pa~6x10-4Pa
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O Forno de Tubo PECVD Deslizante KINTEK com Gaseificador de Líquidos é um sistema de última geração projetado para deposição de filmes finos versátil e de alto desempenho. Projetado para atender às rigorosas demandas da pesquisa e produção modernas, ele combina uma fonte de plasma RF de 500W, um inovador forno deslizante para ciclagem térmica rápida, controle preciso do fluxo de gás e uma estação de vácuo robusta. Seja para eletrônica, semicondutores, óptica ou ciência de materiais avançados, este sistema entrega resultados excepcionais e confiabilidade. Na KINTEK, aproveitamos nossa excepcional expertise em P&D e fabricação própria para fornecer soluções avançadas de fornos como esta, e oferecemos forte personalização profunda para atender precisamente aos seus requisitos experimentais únicos.
Principais Características e Benefícios
O Forno de Tubo PECVD Deslizante com Máquina PECVD de Gaseificador de Líquidos oferece inúmeros benefícios para aprimorar sua pesquisa e produção:
- Geração de Energia Aprimorada: A inovadora estrutura de suporte de grafite melhora significativamente a saída de energia das pastilhas de células solares.
- Qualidade de Célula Uniforme: Elimina efetivamente as diferenças de cor em células PECVD tubulares, garantindo resultados consistentes.
- Fonte de Plasma RF Versátil: Apresenta uma fonte de plasma RF com ajuste automático e uma ampla faixa de potência de saída (5-500W) para um desempenho estável e adaptável em várias aplicações.
- Ciclagem Térmica Rápida: O sistema de deslizamento da câmara do forno permite aquecimento e resfriamento de alta velocidade, reduzindo significativamente o tempo de processamento. A circulação de ar forçada auxiliar acelera ainda mais a taxa de resfriamento.
- Operação Automatizada: O movimento deslizante automatizado opcional aumenta a eficiência e reduz a intervenção manual para fluxos de trabalho simplificados.
- Gerenciamento Preciso de Temperatura: O controle de temperatura programável PID garante uma regulação precisa da temperatura. Suporta controle remoto e centralizado para maior conveniência e flexibilidade operacional.
- Controle de Gás Preciso: Medidores de fluxo de massa MFC de alta precisão controlam precisamente os gases de origem, garantindo um suprimento de gás estável, consistente e pré-misturado.
- Sistema de Vácuo de Alto Desempenho: O flange de vácuo de aço inoxidável com múltiplas portas de adaptação acomoda várias configurações de estações de bomba de vácuo, garantindo um alto grau de vácuo e vedação confiável.
- Interface Amigável: Equipado com o controlador de tela sensível ao toque TFT de 7 polegadas CTF Pro, simplificando a configuração do programa, a operação e permitindo a análise fácil de dados históricos.
Aplicações Versáteis
O Forno de Tubo PECVD Deslizante com Máquina PECVD de Gaseificador de Líquidos é ideal para uma ampla gama de aplicações, incluindo:
- Deposição Química de Vapor (CVD)
- Deposição Química de Vapor Assistida por Plasma (PECVD)
- Deposição de filmes finos para diversos materiais
- Fabricação e pesquisa de células solares
- Processamento de semicondutores
- Pesquisa e desenvolvimento em nanotecnologia
- Estudos de ciência de materiais avançados
- Pesquisa e desenvolvimento geral em atmosferas controladas
Explore Nossas Configurações de Sistema
A KINTEK oferece várias configurações de sistema CVD para atender a diversas necessidades experimentais. Abaixo estão exemplos de configurações disponíveis:


Princípio de Operação
O Forno de Tubo PECVD Deslizante com Máquina PECVD de Gaseificador de Líquidos utiliza plasma de baixa temperatura para gerar uma descarga luminescente no cátodo da câmara de processo (bandeja de amostra). A descarga luminescente (ou outra fonte de calor) eleva a temperatura da amostra a um nível predeterminado. Em seguida, quantidades controladas de gás de processo são introduzidas, passando por reações químicas e de plasma para formar um filme sólido na superfície da amostra.
Vantagens de Segurança Integradas
- Proteção contra Sobrecorrente e Sobretemperatura: O forno está equipado com proteção contra sobrecorrente e funções de alarme de sobretemperatura, desligando automaticamente a energia se os limites forem excedidos.
- Detecção de Falha de Termopar: Uma função integrada de detecção de termopar interromperá o aquecimento e acionará um alarme se um termopar quebrado ou com falha for detectado, evitando o aquecimento descontrolado.
- Função de Reinicialização após Falha de Energia: O controlador PE Pro suporta uma função de reinicialização após falha de energia, permitindo que o forno retome seu programa de aquecimento automaticamente assim que a energia for restaurada após uma interrupção.
Especificações Técnicas
| Modelo do forno | KT-PE12-60 |
| Temperatura máx. | 1200℃ |
| Temperatura de trabalho constante | 1100℃ |
| Material do tubo do forno | Quartzo de alta pureza |
| Diâmetro do tubo do forno | 60mm |
| Comprimento da zona de aquecimento | 1x450mm |
| Material da câmara | Fibra de alumina do Japão |
| Elemento de aquecimento | Bobina de fio Cr2Al2Mo2 |
| Taxa de aquecimento | 0-20℃/min |
| Termopar | Tipo K integrado |
| Controlador de temperatura | Controlador PID digital/Controlador PID com tela sensível ao toque |
| Precisão do controle de temperatura | ±1℃ |
| Distância de deslizamento | 600mm |
| Unidade de Plasma RF | |
| Potência de Saída | 5 -500W ajustável com estabilidade de ± 1% |
| Frequência RF | 13,56 MHz ±0,005% de estabilidade |
| Potência de Reflexão | 350W máx. |
| Ajuste | Automático |
| Ruído | |
| Resfriamento | Resfriamento a ar. |
| Unidade de controle preciso de gás | |
| Medidor de fluxo | Medidor de fluxo de massa MFC |
| Canais de gás | 4 canais |
| Taxa de fluxo | MFC1: 0-5SCCM O2 MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0- 100SCCM H2 MFC4: 0-500 SCCM N2 |
| Linearidade | ±0,5% F.S. |
| Repetibilidade | ±0,2% F.S. |
| Tubulação e válvula | Aço inoxidável |
| Pressão Máxima de Operação | 0,45MPa |
| Controlador do medidor de fluxo | Controlador de botão digital/Controlador de tela sensível ao toque |
| Unidade de vácuo padrão (Opcional) | |
| Bomba de vácuo | Bomba de vácuo de palhetas rotativas |
| Taxa de fluxo da bomba | 4L/S |
| Porta de sucção de vácuo | KF25 |
| Medidor de vácuo | Medidor de vácuo Pirani/Resistência de silício |
| Pressão de vácuo nominal | 10Pa |
| Unidade de alto vácuo (Opcional) | |
| Bomba de vácuo | Bomba de palhetas rotativas + Bomba molecular |
| Taxa de fluxo da bomba | 4L/S + 110L/S |
| Porta de sucção de vácuo | KF25 |
| Medidor de vácuo | Medidor de vácuo composto |
| Pressão de vácuo nominal | 6x10-4Pa |
| As especificações e configurações acima podem ser personalizadas | |
Conteúdo do Pacote Padrão
| Nº | Descrição | Quantidade |
| 1 | Forno | 1 |
| 2 | Tubo de quartzo | 1 |
| 3 | Flange de vácuo | 2 |
| 4 | Bloco térmico do tubo | 2 |
| 5 | Gancho do bloco térmico do tubo | 1 |
| 6 | Luva resistente ao calor | 1 |
| 7 | Fonte de plasma RF | 1 |
| 8 | Controle preciso de gás | 1 |
| 9 | Unidade de vácuo | 1 |
| 10 | Manual de operação | 1 |
Personalização e Configurações Opcionais
Na KINTEK, orgulhamo-nos de nossa forte capacidade de personalização profunda. Podemos adaptar o Forno de Tubo PECVD Deslizante para atender precisamente aos seus requisitos experimentais únicos. As configurações opcionais disponíveis incluem:
- Detecção e monitoramento de gás no tubo (ex: H2, O2)
- Sistemas independentes de monitoramento e registro de temperatura do forno
- Porta de comunicação RS 485 para controle remoto por PC e exportação de dados
- Controle de taxa de fluxo de alimentação de gás personalizado (medidores de fluxo de massa ou medidores de fluxo de flutuação)
- Controlador de temperatura avançado com tela sensível ao toque e funções versáteis e amigáveis ao operador
- Várias configurações de estações de bomba de alto vácuo (ex: bomba de vácuo de palhetas, bomba molecular, bomba de difusão)
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O Forno de Tubo PECVD Deslizante da KINTEK foi projetado para adaptabilidade e alto desempenho. Entendemos que sua pesquisa é única. Aproveite nossas fortes capacidades de personalização profunda para adaptar este sistema às suas especificações exatas. Se você precisa de diferentes faixas de temperatura, configurações de gás específicas, recursos de controle avançados ou configurações de vácuo exclusivas, nossa equipe de especialistas está pronta para ajudar.
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FAQ
Qual é O Princípio De Funcionamento De Uma Máquina MPCVD?
O Que é Um Forno Tubular E Como Funciona?
Quais São As Principais Aplicações Dos Fornos Tubulares Multi-zona?
Qual é O Princípio De Funcionamento De Uma Máquina CVD?
Quais São As Aplicações Comuns De Um Forno De Tubos Divididos?
O Que é Um Forno Tubular Vertical?
Quais São As Vantagens De Utilizar Uma Máquina MPCVD?
Quais São As Principais Aplicações Dos Fornos Tubulares?
Quais São As Principais Caraterísticas Dos Fornos Tubulares Multi-zona?
Quais São As Vantagens De Utilizar Uma Máquina CVD?
Quais São As Principais Caraterísticas De Um Forno De Tubo Dividido?
Quais São As Aplicações De Um Forno Tubular Vertical?
Quais São As Principais Aplicações Das Máquinas MPCVD?
Quais São As Vantagens De Utilizar Um Forno Tubular?
Como Funciona Um Forno Tubular Multi-zona?
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Como Funciona Um Forno De Tubo Dividido?
Quais São As Vantagens De Um Forno Tubular Vertical?
Quais São Os Principais Componentes De Uma Máquina MPCVD?
Que Tipos De Fornos Tubulares Estão Disponíveis?
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Quais São As Principais Caraterísticas De Uma Máquina CVD?
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Como é Que Um Forno Tubular Vertical Funciona?
Como é Que Uma Máquina MPCVD Aumenta A Eficiência Energética?
Que Gamas De Temperatura Podem Atingir Os Fornos Tubulares?
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Que Tipos De Fornos Tubulares Verticais Estão Disponíveis?
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Porquê Escolher Um Forno Tubular Vertical Em Vez De Um Horizontal?
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