CVD & PECVD Furnace
Forno tubular Slide PECVD com gaseificador líquido Máquina PECVD
Número do item : KT-PE12
O preço varia com base em especificações e personalizações
- Temperatura máxima
- 1200℃
- Potência de saída do plasma RF
- 5-500W
- Pressão de vácuo nominal
- 10Pa~6x10-4Pa
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Desbloquear a deposição de película fina de precisão
O forno tubular PECVD deslizante KINTEK com gaseificador líquido é um sistema de última geração concebido para a deposição de película fina versátil e de elevado desempenho. Concebido para satisfazer as rigorosas exigências da investigação e produção modernas, combina uma fonte de plasma RF de 500 W, um forno deslizante inovador para um ciclo térmico rápido, um controlo preciso do fluxo de gás e uma estação de vácuo robusta. Quer se trate de eletrónica, semicondutores, ótica ou ciência de materiais avançada, este sistema proporciona resultados e fiabilidade excepcionais. Na KINTEK, aproveitamos a nossa excecional experiência em I&D e fabrico interno para fornecer soluções avançadas de fornos como este, e oferecemos uma forte e profunda personalização para satisfazer com precisão os seus requisitos experimentais únicos.
Principais caraterísticas e vantagens
O forno tubular Slide PECVD com máquina PECVD de gaseificador líquido oferece inúmeras vantagens para melhorar a sua investigação e produção:
- Geração de energia melhorada: A inovadora estrutura de barco de grafite melhora significativamente a produção de energia das bolachas de células solares.
- Qualidade uniforme das células: Elimina eficazmente as diferenças de cor nas células PECVD tubulares, garantindo resultados consistentes.
- Fonte de plasma RF versátil: Possui uma fonte de plasma RF de correspondência automática com uma ampla gama de potência de saída (5-500W) para um desempenho estável e adaptável em várias aplicações.
- Ciclo térmico rápido: O sistema de deslizamento da câmara do forno permite o aquecimento e arrefecimento a alta velocidade, reduzindo significativamente o tempo de processamento. A circulação de ar forçado auxiliar acelera ainda mais a taxa de arrefecimento.
- Funcionamento automatizado: O movimento deslizante automatizado opcional aumenta a eficiência e reduz a intervenção manual para fluxos de trabalho simplificados.
- Gestão precisa da temperatura: O controlo de temperatura programável PID assegura uma regulação precisa da temperatura. Suporta controlo remoto e centralizado para maior comodidade e flexibilidade operacional.
- Controlo preciso do gás: Os caudalímetros de massa MFC de alta precisão controlam com precisão os gases de origem, assegurando um fornecimento de gás estável, consistente e pré-misturado.
- Sistema de vácuo de elevado desempenho: A flange de vácuo em aço inoxidável com múltiplas portas de adaptação acomoda várias configurações de estações de bombas de vácuo, assegurando um elevado grau de vácuo e uma vedação fiável.
- Interface de fácil utilização: Equipado com o controlador de ecrã tátil TFT de 7 polegadas CTF Pro, simplificando a configuração e operação do programa e permitindo uma análise fácil dos dados históricos.
Aplicações versáteis
O forno tubular Slide PECVD com máquina PECVD de gaseificador líquido é ideal para uma vasta gama de aplicações, incluindo:
- Deposição de vapor químico (CVD)
- Deposição de vapor químico com plasma (PECVD)
- Deposição de película fina de vários materiais
- Fabrico e investigação de células solares
- Processamento de semicondutores
- Investigação e desenvolvimento em nanotecnologia
- Estudos avançados de ciência dos materiais
- Investigação e desenvolvimento geral em atmosferas controladas
Explore as nossas configurações de sistema
A KINTEK oferece várias configurações de sistemas CVD para satisfazer diversas necessidades experimentais. Abaixo estão exemplos de configurações disponíveis:
Princípio de funcionamento
O forno tubular Slide PECVD com gaseificador líquido PECVD utiliza plasma de baixa temperatura para gerar uma descarga luminescente no cátodo da câmara de processamento (tabuleiro de amostras). A descarga incandescente (ou outra fonte de calor) aumenta a temperatura da amostra para um nível pré-determinado. Em seguida, são introduzidas quantidades controladas de gás de processo, que sofrem reacções químicas e de plasma para formar uma película sólida na superfície da amostra.
Vantagens de segurança incorporadas
- Proteção contra sobreintensidade e sobretemperatura: O forno está equipado com funções de proteção contra sobrecorrente e alarme de sobretemperatura, desligando automaticamente a alimentação se os limites forem excedidos.
- Deteção de falha do termopar: Uma função de deteção de termopar incorporada interrompe o aquecimento e acciona um alarme se for detectado um termopar partido ou avariado, impedindo um aquecimento descontrolado.
- Função de reinício por falha de energia: O controlador PE Pro suporta uma função de reinício por falha de energia, permitindo que o forno retome automaticamente o seu programa de aquecimento assim que a energia for restabelecida após uma falha.
Especificações técnicas
| Modelo do forno | KT-PE12-60 |
| Temperatura máxima | 1200℃ |
| Temperatura de trabalho constante | 1100℃ |
| Material do tubo do forno | Quartzo de alta pureza |
| Diâmetro do tubo do forno | 60mm |
| Comprimento da zona de aquecimento | 1x450mm |
| Material da câmara | Fibra de alumina do Japão |
| Elemento de aquecimento | Bobina de fio Cr2Al2Mo2 |
| Taxa de aquecimento | 0-20℃/min |
| Par térmico | Construído em tipo K |
| Controlador de temperatura | Controlador PID digital/controlador PID com ecrã tátil |
| Precisão do controlo de temperatura | ±1℃ |
| Distância de deslizamento | 600mm |
| Unidade de plasma RF | |
| Potência de saída | 5 -500W ajustável com estabilidade de ± 1% |
| Frequência de RF | 13,56 MHz ±0,005% de estabilidade |
| Potência de reflexão | 350W máx. |
| Emparelhamento | Automático |
| Ruído | |
| Arrefecimento | Arrefecimento a ar. |
| Unidade de controlo de precisão do gás | |
| Medidor de caudal | Medidor de caudal mássico MFC |
| Canais de gás | 4 canais |
| Caudal |
MFC1: 0-5SCCM O2
MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0- 100SCCM H2 MFC4: 0-500 SCCM N2 |
| Linearidade | ±0,5% F.S. |
| Repetibilidade | ±0,2% F.S. |
| Tubagem e válvula | Aço inoxidável |
| Pressão máxima de funcionamento | 0,45MPa |
| Controlador do caudalímetro | Controlador de botão digital/controlador de ecrã tátil |
| Unidade de vácuo standard (opcional) | |
| Bomba de vácuo | Bomba de vácuo de palhetas rotativas |
| Caudal da bomba | 4L/S |
| Porta de aspiração de vácuo | KF25 |
| Medidor de vácuo | Vacuómetro de silicone Pirani/Resistance |
| Pressão de vácuo nominal | 10Pa |
| Unidade de alto vácuo (opcional) | |
| Bomba de vácuo | Bomba de palhetas rotativas+Bomba molecular |
| Caudal da bomba | 4L/S+110L/S |
| Porta de aspiração de vácuo | KF25 |
| Medidor de vácuo | Medidor de vácuo composto |
| Pressão de vácuo nominal | 6x10-4Pa |
| As especificações e configurações acima podem ser personalizadas | |
Conteúdo da embalagem padrão
| Não. | Descrição | Quantidade |
| 1 | Forno | 1 |
| 2 | Tubo de quartzo | 1 |
| 3 | Flange de vácuo | 2 |
| 4 | Bloco térmico do tubo | 2 |
| 5 | Gancho do bloco térmico do tubo | 1 |
| 6 | Luva resistente ao calor | 1 |
| 7 | Fonte de plasma RF | 1 |
| 8 | Controlo preciso do gás | 1 |
| 9 | Unidade de vácuo | 1 |
| 10 | Manual de instruções | 1 |
Personalização e configurações opcionais
Na KINTEK, orgulhamo-nos da nossa forte e profunda capacidade de personalização. Podemos adaptar o forno tubular Slide PECVD para satisfazer com precisão os seus requisitos experimentais exclusivos. As configurações opcionais disponíveis incluem:
- Deteção e monitorização de gás no tubo (por exemplo, H2, O2)
- Sistemas independentes de monitorização e registo da temperatura do forno
- Porta de comunicação RS 485 para controlo remoto por PC e exportação de dados
- Controlo personalizado do caudal de alimentação de gás (caudalímetros de massa ou caudalímetros de flutuador)
- Controlador de temperatura de ecrã tátil avançado com funções versáteis e fáceis de utilizar
- Várias configurações de estações de bombas de alto vácuo (por exemplo, bomba de vácuo de palhetas, bomba molecular, bomba de difusão)
Parceria com a KINTEK para as suas necessidades de fornos avançados
O forno tubular Slide PECVD da KINTEK foi concebido para adaptabilidade e elevado desempenho. Compreendemos que a sua investigação é única. Tire partido das nossas fortes capacidades de personalização profunda para adaptar este sistema às suas especificações exactas. Quer necessite de diferentes gamas de temperatura, configurações de gás específicas, funcionalidades de controlo avançadas ou configurações de vácuo únicas, a nossa equipa de especialistas está pronta para o ajudar.
Pronto para elevar a sua investigação ou produção? Discuta os seus requisitos com os nossos especialistas e obtenha um orçamento personalizado. Por favor preencha o nosso formulário de contacto e um dos nossos especialistas entrará em contacto brevemente para o ajudar a configurar a solução PECVD perfeita!
FAQ
O Que é Um Forno Tubular E Como Funciona?
Quais São As Principais Aplicações Dos Fornos Tubulares Multi-zona?
Qual é O Princípio De Funcionamento De Uma Máquina CVD?
Quais São As Aplicações Comuns De Um Forno De Tubos Divididos?
O Que é Um Forno Tubular Vertical?
Quais São As Principais Aplicações Dos Fornos Tubulares?
Quais São As Principais Caraterísticas Dos Fornos Tubulares Multi-zona?
Quais São As Vantagens De Utilizar Uma Máquina CVD?
Quais São As Principais Caraterísticas De Um Forno De Tubo Dividido?
Quais São As Aplicações De Um Forno Tubular Vertical?
Quais São As Vantagens De Utilizar Um Forno Tubular?
Como Funciona Um Forno Tubular Multi-zona?
Quais São As Aplicações De Uma Máquina CVD?
Como Funciona Um Forno De Tubo Dividido?
Quais São As Vantagens De Um Forno Tubular Vertical?
Que Tipos De Fornos Tubulares Estão Disponíveis?
Quais São As Vantagens De Utilizar Um Forno Tubular Multi-zona?
Quais São As Principais Caraterísticas De Uma Máquina CVD?
Quais São As Vantagens De Utilizar Um Forno De Tubos Divididos?
Como é Que Um Forno Tubular Vertical Funciona?
Que Gamas De Temperatura Podem Atingir Os Fornos Tubulares?
Que Tipos De Fornos Tubulares Multi-zona Estão Disponíveis?
Que Tipos De Máquinas CVD Estão Disponíveis?
Que Temperatura Pode Atingir Um Forno De Tubos Divididos?
Que Tipos De Fornos Tubulares Verticais Estão Disponíveis?
Os Fornos Tubulares Podem Funcionar Sob Diferentes Atmosferas?
Porque é Que O Design Dividido é Benéfico Num Forno Tubular?
Porquê Escolher Um Forno Tubular Vertical Em Vez De Um Horizontal?
O Que Torna Os Fornos Tubulares KINTEK Especiais?
Que Gamas De Temperatura Podem Atingir Os Fornos Tubulares Verticais?
Os Fornos Tubulares Verticais São Personalizáveis?
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